[(株)ATTO] 始華工団新築工場竣工・移転

[(株)IPS] 世界初の量産用200mm ALD工程装置量産

[(株)ATTO] 中小企業ベンチャー企業通商産業部長官賞受賞

[(株)IPS] 付設研究所設立

[(株)ATTO]「租税の日」国税庁長賞受賞

[(株)ATTO] KOSDAQ登録

[(株)IPS] ALD 200mmおよびDry Etch 200mm装置共同開発契約

[(株)ATTO] 株式会社ATTOに商号変更

[(株)ATTO] 第14回ベンチャー企業大賞受賞

[(株)ATTO] 百万ドル輸出の塔受賞

[(株)ATTO] 付設研究所設立

[(株)IPS] 旧チョンソンシステム(株)設立

[(株)ATTO] 旧韓国エンジニアリング設立

[(株)IPS] (株)IPSに商号変更