(株)ATTOと(株)IPS法人合併

[(株)IPS]「第2回半導体の日」国務総理賞受賞

[(株)ATTO] 代表取締役副会長イ・ムンヨン就任

[(株)ATTO] MAHA-MP装置量産

[(株)IPS] PE-CVD売上1000億達成

[(株)ATTO] PE-CVD売上1000億達成

[(株)ATTO] 京畿道雇用優秀企業に選定

[(株)IPS] (株)IPSのCB発行(220億)サムスン電子引受

[(株)IPS] 300mm New Metal装置(AKRA)量産

[(株)IPS] LED製造用MO-CVD装置Hardware開発

[(株)ATTO] PE-CVD装置100号機出荷

[(株)ATTO] 産業安全保健の日」産業災害予防有功者大統領産業褒賞受賞

[(株)IPS] エコ研究所設立

[(株)IPS] Solar Cell PECVD装置量産

[(株)ATTO] 中国産業本部(Fab & Solution)物的分割

[(株)IPS] 300mm DB21装置量産

[(株)IPS] Solar Cell LPCVD装置量産

[(株)ATTO] MAHA-SP装置量産

[(株)IPS] 高生産性半導体装置量産(BLUETAIN)

[(株)IPS] ベンチャー企業1000億クラブ加入

[(株)IPS] 新任代表取締役ムン・サンヨン就任

[(株)IPS] LCD 8G Dry Etcher量産

[(株)ATTO] 特殊ガス事業部門物的分割(WONIKマテリアルズ設立)

[(株)ATTO] 第39回産業災害予防有功国務総理表彰

[(株)IPS] 第15回茶山技術賞中小企業部門受賞

[(株)IPS] 第2回大韓民国KOSDAQ大賞最優秀テクノ経営賞受賞

[(株)IPS] LCD装置販売開始

[(株)IPS] RACVDおよびBlue Tainなどの関連特許権譲受(15件)

[(株)IPS] 第42回「貿易の日」千万ドル輸出塔受賞

[(株)ATTO] 第2回大企業・中小企業協力大賞銅塔産業勲章受賞

[(株)IPS] KOSDAQ上場

[(株)ATTO] 2005.10 最大株主変更：(株)IPS

[(株)IPS] LCD/SOLAR浦升工場新築

[(株)IPS] 韓国内初の量産用Metal ALD/CVD 300mm量産

[(株)IPS] 韓国内初の量産用Metal ALD/CVD 200mm量産

[(株)ATTO] 第1回大企業・中小企業協力大賞中小企業庁長(新技術部門)表彰

[(株)IPS] 韓国半導体技術開発コンテスト大賞受賞、科学技術有功者団体部門研究所分野国務総理賞受賞

[(株)IPS] 米国法人設立

[(株)IPS] Solar Cell装置日本輸出

[(株)IPS] 京畿道輸出有功者表彰受賞

[(株)IPS] 新任代表取締役チャン・ホスン就任

[(株)ATTO] ナノ産業研究組合加入

[(株)ATTO] 梧倉特殊ガス工場竣工

[(株)ATTO] PE-CVD進出

[(株)ATTO] 忠清北道梧倉科学産業団地特殊ガス工場竣工

[(株)IPS] 京畿道有望中小企業に選定

[(株)ATTO] 新任代表取締役ムン・サンヨン就任