List
Cryster series 600
Process
Contact anneal
De-hydrogenation
Hydrogenation
Activation
Applications
AMOLED Rigid/Flexible用
LTPS TFT Backplane (Mobile)
Introduction.
LTPSの工程装置は、AMOLED Rigid/Flexible用ディスプレイ製造工程においてContact anneal、De-hydrogenation、Hydrogenation、Activationなどの高温熱処理工程に特化された装置です。
Technology.
この装置は低温から高温に至るまで幅広い温度帯域を実現することで、お客様が求める工程条件の最適化、IPS独自の独創的な汚染制御と精密な温度制御を可能にして、生産性を高めるためのfast ramp up/down機能の適用を実現しています。
Features.
1. Glass size：～8G 2. Max. temperature：～500℃ 3. 非常に高い温度均一性を制御できる特殊製作されたFront door 4. 最少のO2濃度を維持・制御できる技術 5. Maintがとても容易な全開式Rear door 6. 最適な工程のため、均一なGas laminar flowが可能な特殊製作されたガス注入システム 7. 素早い昇温と冷却を兼ね備えた特殊技術で高生産性と精密工程を実現できるFRP(Fast Ramping Process) 8. 最適なalignと高速クーリングが可能な特殊製作されたcooling stage
