WONIK IPS

半導体研究所 / ディスプレイ研究所(ECO研究所)

次世代工程と製品を重点的に発掘・開発するR&D研究所は、素子企業と部品企業との共同研究を活発に繰り広げています。
Clean room 10 Classの量産装置に準ずる研究施設を保有しており、新しい工程をシステムで直接設計して、更には次世代主力製品群も開発しています。
また、主力製品システムの問題点を根本的に革新させる多様な機械的かつ電子的なアイデアを具現化しています。

WONIK IPSのR&D研究所には、工程テストとリアルタイムでその結果をモニタリングするための計測器が10Classの空間内に確保されており、厚さ測定、抵抗測定、Particle測定、Stress測定など、塗布幕を様々な角度から分析できる計測器が設置・運営されており、高倍率断面分析、成分分析に役立つFE-SEMも積極的に活用しています。

R&D研究所内の設備は、顧客に納品される設備とH/WとS/W面で同一の性能を持つMirror Tool概念を志向しており、今後、技術のScale Down傾向に従い、Wafer状態で微細Particleを分析できる最新のSEM-Visionを揃えて、研究開発を加速化させていく予定です。