List
Cryster series 600
Process
Contact anneal
De-hydrogenation
Hydrogenation
Activation
Applications
AMOLED Rigid/Flexible用
LTPS TFT Backplane (Mobile)
Introduction.
LTPS工艺设备是用于AMOLED Rigid/Flexible display制造工艺中Contact anneal、De-hydrogenation、Hydrogenation、Activation等高温热处理工艺的专业设备。
Technology.
本设备可实现从低温到高温wide range温度范围，按照用户需求提供最佳工艺条件，独创IPS可实现精密温度控制与污染控制，为保证生产效率搭配fast ramp up/down功能。
Features.
1. Glass size：~ 8G 2. Max. temperature：~ 500℃ 3. 可保证高温均匀度的特制Front door 4. 最大限度保持与控制O2浓度的技术 5. 易于维护（Maint）的Full open式Rear door 6. 可实现均匀Gas laminar flow，保证最佳工艺条件的特制Gas注入系统 7. 可实现快速升温与冷却，保证生产效率和精密度的FRP (Fast Ramping Process) 8. 可保证最佳align效果与快速cooling的特制cooling stage
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