List
Cryster series 800 (Oxide)
Process
Oxide
Applications
QD-OLED
Oxide TFT Backplane
(TV)
Introduction.
Oxide TFT工艺设备是用于大型display制造工艺中Backplane基板热处理工艺的专业设备。
Technology.
本设备作为氧化物热处理工艺专业设备，采用可均匀heat-up8代以上大面积基板的IPS独创性glass in/out Door systems、quartz tube heater和布局结构，可提高加载基板的flat工艺生产效率。
Features.
1. Glass size：~10.5G 2. Max temperature：~500℃ 3. 即使是大面积Glass也能保证高温均匀度的特殊设备结构 4. 优化生产效率的特殊Ramp up/down功能 5. 可保持高纯度steam状态的特殊Torch system (H2 + O2)
