[(株)ATTO] 始华工业园新建工厂竣工及搬迁

[(株)IPS] 世界最早的量产用200mm ALD工艺设备量产

[(株)ATTO] 荣获中小企业风险企业通商产业部长官奖

[(株)IPS] 设立附属研究所

[(株)ATTO] 荣获纳税日国税厅厅长奖

[(株)ATTO] 在科斯达克市场(KOSDAQ)上注册

[(株)IPS] 签订ALD 200mm及干蚀刻200mm设备共同开发合同

[(株)ATTO] 株式会社ATTO商号变更

[(株)ATTO] 荣获第14届风险企业大奖

[(株)ATTO] 荣获百万美元出口塔奖

[(株)ATTO] 附属研究所设立

[(株)IPS] 前青松系统(株)设立

[(株)ATTO] 前韩国工程设立

[(株)IPS] 商号变更为(株)IPS